机器人误差补偿方法的研究现状就工业机器人本体而言，可以从改善工业机器人的自身硬件条件和软件条件出发，提高机器人自身的精度，从而改善由机器人组成的操作控制系统的精度。
从改善工业机器人的硬件条件而言，改善工业机器人的设计方法和制造工艺，提高制造、装配精度，并研究具有更高性能的机器人控制器系统来提高工业机器人的控制精度。硬件方面的改进可以有效降低工业机器人自身参数误差因素下的定位误差。然而考虑到当前技术能力下工业机器人的实际设计能力、装配制造能力和硬件改进的经济性，并且无法改善工业机器人在生产线应用过程中由于自身零部件的机械损耗或者生产环境的变化等因素导致的定位误差，因而具有较大的局限性。
从改善工业机器人的软件算法出发，即采用定位误差补偿的方法，首先使用量具根据样本测量点测量得到若干组工业机器人末端位姿数据，根据相应的算法，建立工业机器人的运动学模型和末端执行器的误差模型，再利用误差模型的参数辨识方法得到较为精确的实际参数，最终通过修改工业机器人控制器中原有的控制算法，或补充额外的控制算法来补偿定位误差。这种方法可以综合改善工业机器人由于各种内部或外在因素造成的定位误差，且误差补偿成本小，已成为当前提高机器人精度的主要方法。