EtherCAT是目前比较主流的且常见的组网方式。但是多数厂商采用的是多品牌、多控制器的网络控制方式。采用这种网络控制方式，往往面临如下课题：

　　由主控制器进行运动控制、安全控制等，会导致负荷加大，过程控制无法精准重复；

　　开发工作复杂，导致设计周期长。

　　这些课题，采用欧姆龙NX-ECT101的EtherCAT自律分散系统即可解决。

　　确保晶片过程控制精准重复

　　如果用主控制器进行所有控制，会导致负荷加大，执行缓慢，周期不稳定。

　　通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。

　　缩短设备设计开发周期

　　由于制造商分别使用不同的网络导致开发工作更加复杂，制造商分别使用不同的网络时，需要具备各种工具的专业知识，导致设计周期变长，也需要更长的培训时间。

　　通过分散模块化实现并行开发。此外，使用NX-ECT101并与EtherCAT整合，减少需要学习操作的工具。使用自动化软件Sysmac Studio整合运动、安全、传感等开发环境。由此，能够缩短设计开发周期及设计人员培训时间。

　　减少占地面积

　　NX系列在兼顾了控制与安全的同时，宽度也仅有102mm。相较于其它公司的产品，尺寸缩减了48%*1，有助于实现设备小型化，减少占地面积。

　　简化维护工作

　　如果进行维护时需要操作工具，要求具备专业知识，还有可能引起误操作。

　　在NX系列产品上，无需经由计算机操作工具，仅使用SD储存卡即可完成程序升级。此外，还能够避免程序因误操作而遭改写，可轻松、有效地进行维护。

　　欧姆龙借助采用NX-ECT101的EtherCAT自律分散系统，有助于晶片过程控制精准重复，为客户解决节省空间、削减开发与维护工时的课题，提升半导体制造设备的附加价值，带动生产设备性能提升！